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拋光液攪拌桶

產品介紹

一、拋光液攪拌桶的定義與功能

拋光液攪拌桶是一種用于混合、儲存和均勻分散拋光液(CMP Slurry、金屬拋光液等)的專用設備,廣泛應用于半導體、光學、金屬加工等行業。其核心功能包括:

均勻混合:防止拋光液中的磨料顆粒(如SiO?、Al?O?)沉降或團聚。

溫度控制:維持拋光液恒溫,避免因溫度波動影響拋光效果。

防污染:確保拋光液在潔凈環境中儲存,防止異物引入。

 

二、設備結構與工作原理

1. 核心組件

桶體:

材質:316L不銹鋼(耐腐蝕)、PP/PTFE(防靜電、耐酸堿)。

攪拌系統:

攪拌器類型:槳葉式、錨式、螺旋式(根據粘度選擇)。

驅動電機:變頻調速(0-500 rpm),功率0.5-15 kW。

溫控系統:

加熱/冷卻夾套:通入導熱油或冷卻水,控溫范圍5℃-80℃。

溫度傳感器:PT100探頭,精度±0.5℃。

輔助系統:

液位監測:超聲波或浮球式液位計。

循環過濾:聯機過濾器(0.1-1μm精度),防止顆粒團聚。

2. 工作原理

通過電機驅動攪拌器旋轉,形成層流或湍流,使拋光液中的磨料、添加劑均勻分散。溫控系統通過夾套介質調節液溫,確保化學穩定性。

 

三、技術參數

參數 典型值/說明

容量 50L - 5000L(可定制)

攪拌轉速 0-500 rpm(無級調速)

功率 0.5 kW(小型)- 15 kW(大型)

溫控范圍 5℃ - 80℃(精度±1℃)

接觸材質 316L不銹鋼、PP、PTFE、氟橡膠密封圈

 

四、應用場景

半導體制造:

CMP拋光液(化學機械拋光)的混合與存儲,要求無金屬離子污染。

光學鏡片加工:

玻璃拋光液的恒溫攪拌,防止顆粒沉降。

金屬表面處理:

電鍍液、酸洗液的循環混合,提升工藝一致性。

鋰電材料:

正極/負極漿料的分散,確保涂布均勻性。

產品優勢

1、設備工藝先進,做工精巧

2、正常使用壽命長,合格率高,達到進口設備的技術水準,性價比更高。

3、我司有一支將近20年經驗的技術及售后服務團隊,從設計生產到售后服務為客戶提供專業化方案。

 

五、選型與維護建議

1. 選型要點

拋光液特性:

高粘度(如鋰電漿料):選擇錨式或螺旋攪拌器。

低粘度(如CMP拋光液):槳葉式或磁力攪拌。

潔凈度要求:

半導體級:316L不銹鋼+氮氣密封+循環過濾。

工業級:PP材質+機械密封。

產能匹配:

根據產線需求選擇容量(如500L/批)。

2. 維護保養

日常維護:

每周清潔桶內壁,檢查密封圈磨損。

每月校準溫度傳感器,清理過濾器。

長期維護:

每年更換攪拌器軸承潤滑油,檢測電機絕緣性。

每2年全面檢查夾套管路,防止滲漏。

 

六、常見問題與解決方案

問題 原因分析 解決方案

顆粒沉降 攪拌速度不足或時間過短 提高轉速,延長攪拌時間

溫度波動大 夾套介質流量不均 檢查泵閥,調節流量

密封泄漏 密封圈老化或安裝不當 更換密封圈,重新校準軸心

電機過熱 負載過大或散熱不良 降低轉速,清理散熱風扇

 

七、技術發展趨勢

智能化:

集成物聯網(IoT)實時監控粘度、顆粒分布。

AI算法優化攪拌參數,自適應不同配方。

綠色化:

低能耗電機設計,減少碳足跡。

可降解材料替代傳統密封件。

 

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